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    每日經(jīng)濟新聞
    
    

    
  
    
   




      
    
        
          
    
            
            

          
    

     
  
    

    






    



























    
  


    
  
  
    
    
    
      
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            和遠氣體：一種保障單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣質(zhì)量的裝置取得發(fā)明專利證書
        
    
        
        
    
          
            
          
          
            2023-05-07 16:32:58
          
        
    

        
    

        
    
        

      
    
      


      
      
    
        

        

        
        
    和遠氣體消息，近日，公司取得了1項發(fā)明專利，該發(fā)明專利“一種保障單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣質(zhì)量的裝置”是一種保障單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣質(zhì)量的裝置。該裝置系統(tǒng)保障了單晶硅富氬尾氣提純高純氬氣供氣的質(zhì)量。
    

        


        
      
    
    
    


    
    
    
      
           責(zé)編  姚祥云
      
    
    

    

    
    
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